高精純石墨盤和慣例石墨盤在純度、功能、應(yīng)用領(lǐng)域和制備工藝等方面存在顯著差異，詳細如下：
純度
    高精純石墨盤：碳含量一般超越99.9%，甚至更高，對雜質(zhì)含量要求極為嚴厲，一般要求雜質(zhì)含量在0.01%以下。高純度使得其在一些對資料純凈度要求極高的領(lǐng)域能夠發(fā)揮關(guān)鍵作用。
    慣例石墨盤：碳含量一般在94%至99%之間，雜質(zhì)含量相對較高。
功能
高精純石墨盤：
    化學(xué)穩(wěn)定性：極高，幾乎不與任何化學(xué)物質(zhì)產(chǎn)生反應(yīng)，在化工行業(yè)中，特別是需求抗腐蝕、耐高溫的環(huán)境下表現(xiàn)出色。
    電導(dǎo)率：電阻率極低，僅為慣例石墨盤的一小部分，在電子和電氣行業(yè)中具有共同優(yōu)勢，常用于制作電極和電接觸資料，能下降能耗，提高設(shè)備效率。
    熱導(dǎo)率：是慣例石墨盤的兩倍以上，在需求快速熱傳導(dǎo)的應(yīng)用中至關(guān)重要，如在半導(dǎo)體制作中，能迅速均勻地傳遞熱量，削減溫度梯度，確保晶圓的均勻加熱。
    機械強度和耐性：在高溫下表現(xiàn)出更好的功能，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性更好，例如在冶金行業(yè)中，可用于制作坩堝和模具，在極點溫度下保持形狀而不變形或破裂。
    外表硬度：較高，耐磨功能優(yōu)異，在機械加工中，常被用作潤滑劑或涂層，能削減沖突，延伸設(shè)備的使用壽命，甚至在某些高精度機械加工中可代替?zhèn)鹘y(tǒng)金屬資料，削減磨損和提高加工精度。
    慣例石墨盤：化學(xué)穩(wěn)定性、電導(dǎo)率、熱導(dǎo)率、機械強度和耐性等方面相對較弱，難以滿意一些對資料功能要求極高的應(yīng)用場景。
應(yīng)用領(lǐng)域
高精純石墨盤：
    半導(dǎo)體制作：用于晶圓加熱、熱管理和等離子體刻蝕設(shè)備等。
    新能源：作為鋰離子電池的負極資料，推動電動車和可再生能源的發(fā)展。
    核工業(yè)：由于其優(yōu)異的中子吸收能力和高溫穩(wěn)定性，用于制作核反應(yīng)堆的控制棒和屏蔽資料。
    化工：抗腐蝕性使其成為化工設(shè)備的抱負資料。
    機械加工：作為高精度加工的潤滑劑和模具資料。
    慣例石墨盤：首要應(yīng)用于一些對資料功能要求不高的領(lǐng)域，如一般性的耐火資料制作、一般機械加工的輔助工具等。
制備工藝
    高精純石墨盤：制備過程更為雜亂和嚴厲，需求選用灰分極低的質(zhì)料，多數(shù)采用模壓或等靜壓成型，石墨化溫度高，并在石墨化過程中通入鹵族元素氣體以下降雜質(zhì)含量，某些高精純石墨器件還會在外表涂厚度為10-20um的熱解石墨以提高抗氧化性。
    慣例石墨盤：制備工藝相對簡略，對質(zhì)料和工藝參數(shù)的要求沒有那么嚴苛。