半導(dǎo)體燒結(jié)石墨載具的流程首要包括以下進(jìn)程：
一、模具預(yù)處理
清洗：對(duì)石墨載具進(jìn)行徹底的清洗，去除外表的油污、灰塵等雜質(zhì)。這是為了保證模具在燒結(jié)進(jìn)程中不受雜質(zhì)影響，保證燒結(jié)質(zhì)量。
二、模具拼裝
識(shí)別部件：熟悉石墨載具的各個(gè)部件，如壓頭、墊片、套筒等。
拼裝順序：依照規(guī)劃要求，順次拼裝石墨載具的各個(gè)部件。拼裝進(jìn)程中要保證各部件之間的緊密配合，防止在燒結(jié)進(jìn)程中呈現(xiàn)漏粉或壓力不均的狀況。
三、填充粉末
挑選粉末：依據(jù)燒結(jié)工藝和產(chǎn)品要求，挑選合適的粉末資料。
填充方式：將待燒結(jié)的粉末資料均勻填充到石墨載具中。填充進(jìn)程中要注意粉末的密度和散布，保證滿足工藝要求。有時(shí)需求在粉末中加入一定量的粘結(jié)劑或其他添加劑，以提高成型效果和燒結(jié)性能。
四、放置石墨紙
在模具的上壓頭和下壓頭與粉末觸摸的面上，分別放置石墨紙。石墨紙的作用是在燒結(jié)進(jìn)程中防止粉末與壓頭粘連，便于后續(xù)的脫模操作。
五、燒結(jié)預(yù)備
放入燒結(jié)設(shè)備：將拼裝好并裝填好粉末的石墨載具放入燒結(jié)爐或相應(yīng)的燒結(jié)設(shè)備中。
連接電源：對(duì)于需求通電發(fā)生焦耳熱的燒結(jié)設(shè)備，如放電等離子燒結(jié)設(shè)備，需求將模具的電極與燒結(jié)設(shè)備的電源連接。
六、設(shè)置燒結(jié)參數(shù)
依據(jù)待燒結(jié)資料的特性和工藝要求，設(shè)置合適的燒結(jié)溫度、壓力、時(shí)刻等參數(shù)。例如，放電等離子燒結(jié)一般具有極快的升溫速率，但需求在相對(duì)較低的燒結(jié)溫度下進(jìn)行。
七、進(jìn)行燒結(jié)
啟動(dòng)設(shè)備：依照設(shè)定的參數(shù)啟動(dòng)燒結(jié)設(shè)備，開始燒結(jié)進(jìn)程。
監(jiān)控參數(shù)：在燒結(jié)進(jìn)程中，要密切監(jiān)控設(shè)備的溫度、壓力等參數(shù)，保證燒結(jié)進(jìn)程的安穩(wěn)進(jìn)行。一起，要注意觀察模具和粉末的狀態(tài)，如有異常狀況應(yīng)及時(shí)處理。
八、冷卻與脫模
冷卻：燒結(jié)完成后，將石墨載具從燒結(jié)設(shè)備中取出，并進(jìn)行天然冷卻或強(qiáng)制冷卻。冷卻速度要依據(jù)資料的特性和工藝要求來確認(rèn)，以防止因冷卻過快而導(dǎo)致資料開裂等問題。
脫模：待模具冷卻至室溫后，進(jìn)行脫模操作。由于石墨模具具有杰出的潤(rùn)滑性和耐高溫性，脫模一般比較容易。但在操作進(jìn)程中仍要小心翼翼，防止損壞燒結(jié)后的制品。
綜上所述，半導(dǎo)體燒結(jié)石墨載具的流程是一個(gè)雜亂而精密的進(jìn)程，需求嚴(yán)格控制各個(gè)環(huán)節(jié)的參數(shù)和操作，以保證取得高質(zhì)量的燒結(jié)產(chǎn)品。